質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制,廣泛用于分析測量?jì)x器。其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度,進(jìn)而影響整機分析結果的準確性和可靠性。
市場(chǎng)上現在所用的氣體質(zhì)量流量計種類(lèi)繁多,分為直接式和間接式兩大類(lèi),間接式尤以熱式居多,熱式雖然使用較多,但也有其中的缺點(diǎn),下面為大家詳細介紹一下熱式和差壓式的優(yōu)缺點(diǎn):
熱式與差壓式氣體對比:
熱式氣體/控制器(以下稱(chēng)MFC/MFM)通過(guò)測量層流元件的差壓、壓力、溫度來(lái)計算流量,這種測量方式具有固有的線(xiàn)性,重復性好,高精度,無(wú)需預熱,溫漂小等特點(diǎn);可以同時(shí)測量4種參數:氣體的瞬時(shí)流量、累計流量、溫度和絕壓,并且可以同時(shí)顯示和輸出。雖然傳統的熱式原理不需經(jīng)過(guò)溫壓補償即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量,但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷:長(cháng)期加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移,反應速度慢等缺點(diǎn)是不可避免的。而采用差壓原理的氣體/控制器幾乎無(wú)零點(diǎn)和溫度漂移,反應速度快,無(wú)需預熱,上電即可操作,解決了長(cháng)期困擾客戶(hù)的問(wèn)題。